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硅超大规模集成电路工艺技术 理论、实践与模型 【工业技术】
(美)普卢默(Plummer,J.D.)2003 年出版818 页ISBN:7505386387本书是美国斯坦福大学电气工程系“硅超大规模集成电路制造工艺”课程所使用的教材,该课程是为电子工程系微电子学专业的四年级本科生及一年级研究生开的一门专业课。本书最大的特点是,不仅详细介绍了与硅超大...
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微电子制造科学原理与工程技术 【工业技术】
(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著(明尼苏达大学电子与计算机工程系)2003 年出版604 页ISBN:7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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