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    本书主要内容包括:(1)初步掌握导体薄膜器件的基本工艺,特别是与集成电路器件工艺过程相关知识。(2)硅基导体衬底晶体材料的生长技术。(3)各种导体薄膜材料常用的制备技术,如:物理气相沉积(PVD)、化学......

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  • 导体材料 【工业技术】

    贺格平,魏剑,金丹主编2018 年出版248 页ISBN:9787502479138

    暂缺《导体材料》简介

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    稳定受控的导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开,详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数,特殊工...

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