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中国科学院半导体研究所理化分析中心研究室著1984 年出版636 页ISBN：13031·2556
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黄昆著；莫奎责任编辑1956 年出版19 页ISBN：13051·1
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天津市科技资料翻译室2222 年出版286 页ISBN：
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张渊主编2011 年出版226 页ISBN：9787111318705
本教材的编写简化了深奥的理论论述，在对基本原理介绍的基础上注重了对工艺过程、工艺参数的描述以及工艺参数测量方法等。
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《半导体手册》翻译组译1970 年出版148 页ISBN：15031·275
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北京工业学院电视教育小组1982 年出版349 页ISBN：15031·388
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《半导体手册》翻译组译1970 年出版61 页ISBN：15031·270
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董成国，蔡崇荣，许光赞编1981 年出版394 页ISBN：15118·52
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上海市科学技术编译馆2222 年出版73 页ISBN：
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（英）D.J.科利弗（D.J.Colliver）著；李玉增等译1980 年出版412 页ISBN：15062.3475
