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基于机械-化学方法的微纳制造技术 【工业技术】
史立秋著2014 年出版93 页ISBN:9787121237126随着电子器件越来越小型化,如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题,提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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