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薄膜与涂层现代表面技术
戴达煌编著2008 年出版619 页ISBN:9787811057317本书以现代表面技术为重点,结合薄膜与涂层的特点,以工程中应用和发展为实例,简述和论述了现代表面工程的含义、分类和应用。
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半导体薄膜技术与物理
叶志镇…等编著2008 年出版278 页ISBN:9787308066174本书介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。
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薄膜材料的制备及应用
刘琳,刑锦娟,钱建华编著2011 年出版174 页ISBN:9787551700917本书包括以下主要内容:导论;薄膜制备的物理方法;第一章薄膜制备的化学方法;第二章薄膜技术应用;第三章薄膜的装置;第四章薄膜的形成、结构与缺陷;第五章特殊薄膜材料等。...
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薄膜材料科学 第2版
(美)奥林著2013 年出版484 页ISBN:9787118081442本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,是一本薄膜材料科学领域的权威之作。...
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