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惯性MEMS器件原理与实践 【工业技术】
（德）沃克尔·肯普著；张新国等译2016 年出版410 页ISBN：9787118108873该书共分9个章节。其中6个章节（包括引言）用于讲述MEMS相关技术的理论基础。第一章讲述了惯性MEMS中最重要的传感器-加速度计和陀螺仪的相关背景知识；第二章讲述了诸如弹性力和阻尼力等非惯性力的理论知识，这些...
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