- 作 者：王璐著
- 出 版 社：哈尔滨：黑龙江大学出版社
- 出版年份：2013
- ISBN：9787811295009
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第1章 概述 1
1.1引言 1
1.2脉象传感器的分类和研究现状 3
1.3 MOSFET压力传感器的研究现状 23
1.4纳米硅/单晶硅异质结研究现状 36
1.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感与检测系统的研究目的和意义 41
1.6主要研究内容 45
第2章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计 47
2.1 MOSFETs硅脉象传感器的理论模型 48
2.2 MOSFETs硅脉象传感器的理论分析 49
2.3半导体材料压阻效应基本理论 54
2.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计 65
2.5纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型 108
2.6本章小结 110
第3章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 112
3.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 112
3.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构 123
3.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式 127
3.4本章小结 131
第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的实验结果与讨论 132
4.1纳米硅/单晶硅异质结P-MOSFET特性 132
4.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的静态特性研究 153
4.3悬臂梁式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试 177
4.4纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的温度特性 178
4.5本章小结 187
第5章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测的系统设计与实测结果分析 190
5.1纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的概述 191
5.2纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计 192
5.3纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果 203
5.4采用人工神经网络处理脉象检测结果 210
5.5本章小结 251
结论 253
参考文献 258
后记 272