- 作 者：曹向群等编著
- 出 版 社：杭州：浙江大学出版社
- 出版年份：1992
- ISBN：7308009114
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目录 1
第一章 绪论 1
第一节 光栅莫尔法概述 1
第二节 莫尔技术应用范围 6
第三节 莫尔技术的发展历史及应用展望 16
第二章 莫尔信息原理 26
第一节 概述 26
第二节 遮光阴影原理 28
第三节 衍射、干涉原理 39
第四节 频谱分析原理 53
第五节 光栅副间隙及菲涅尔焦面 62
第六节 光学滤波 69
第三章 莫尔信号检测 96
第一节 莫尔信号技术指标 96
第二节 莫尔信号反差 106
第三节 谐量抑制 112
第四节 莫尔信号接收 121
第五节 光栅读数头 130
第六节 读数头元件设计 145
第四章 光栅制造 158
第一节 概况 158
第二节 刻划法制造光栅 159
第三节 光刻法制造光栅 165
第四节 光栅检定 173
第五节 光栅复制 187
第六节 衍射光栅和其他特殊光栅制造法 193
第五章 光栅性能处理技术 201
第一节 光栅组合花样应用 201
第二节 莫尔条纹轮廓推算 211
第三节 光栅衍射性能测试 214
第四节 光栅透过率函数 218
第五节 光栅光密度研究 224
第六章 莫尔偏折术和应变测试 230
第一节 莫尔偏折术原理 230
第二节 莫尔偏折术应用 233
第三节 莫尔应变测试原理 246
第四节 莫尔应变测试方法 253
第一节 长度读出装置 261
第七章 长度测量中的应用 261
第二节 数字式万能测长系列 278
第三节 光栅式双光束干涉仪 283
第八章 角度测试和控制 298
第一节 光电轴角编码器 298
第二节 光电圆刻机 311
第三节 传动链测试仪 322
第四节 圆光栅误差数字化检测装置 333
第九章 光栅调制测形法 342
第一节 光栅调制测形原理 342
第二节 莫尔形貌法 346
第三节 变形光栅形貌法 367