科学技术成果报告激光两座标测量仪

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目录 1

概述 1

一、仪器主体结构 1

二、测量系统 2

（一）纵向干涉系统 3

（二）横向干涉系统 3

（三）空气折射率干涉仪 5

（四）小角度干涉仪和校正系统 7

三、数值显示与打印 13

（一）激光干涉条纹的32细分 13

（二）计数脉冲当量的变换 19

（三）计数单元 23

四、测量结果的修正 26

五、瞄准定位装置 26

六、仪器的精度 29

（一）单轴精度 29

（二）座标精度 32

（三）座标样板测试 33

（四）一等量块比对结果及精度分析 36

附表：本仪器各部分误差组成表 37

附录一、“激光两座标测量仪”鉴定会纪要 39

附录二、“激光两座标测量仪”预审会纪要 40

科学技术成果报告 激光两座标测量仪