晶体管自动控温扩散炉

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目录 1

一、用途和技术指标 1

二、结构 1

三、工作原理概述 5

四、PID控制器原理和调试 9

（一）毫伏给定器 9

（二）前置放大器 13

（三）PID调节器 17

（四）PID控制器整机调试 22

五、可控硅功率放大器 23

六、电气控制系统 28

七、安装 29

八、使用方法 31

九、调整方法 33

十、故障检修 37

十一、注意事项 40

附录Ⅰ、元件明细表 41

附录Ⅱ、热电偶分度表 51

附录Ⅲ、出厂调试参数表 55