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微电子材料性能测试实验
  • 作 者:应物教研室编
  • 出 版 社:应物教研室
  • 出版年份:1998
  • ISBN:
  • 标注页数:43 页
  • PDF页数:46 页
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实验一 半导体温差电效应及其导电类型的测定 1

实验二 晶体管击穿电压及其硅单晶电阻率的测定 6

实验三 硅片的化学腐蚀及其位错的测定 20

实验四 硅材料的力学性能及其抗弯强度的测定 39

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