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微电子材料性能测试实验

作者：应物教研室编
出版社：应物教研室
出版年份：1998
ISBN：
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实验一半导体温差电效应及其导电类型的测定 1

实验二晶体管击穿电压及其硅单晶电阻率的测定 6

实验三硅片的化学腐蚀及其位错的测定 20

实验四硅材料的力学性能及其抗弯强度的测定 39