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- 作 者：（德）沃纳·卡尔·施默博格著
- 出 版 社：
- 出版年份：2019
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绪论 1
第1章 尺度效应 3
第2章 弹性变形 5
第3章 薄膜 7
练习题 11
第4章 导路 15
练习题 19
第5章 电学测量 21
练习题 29
第6章 膜片 30
练习题 47
第7章 膜片上的应变计 49
练习题 58
第8章 梁 60
练习题 70
第9章 振动 74
练习题 85
第10章 微流道 88
练习题 101
第11章 电容力 103
练习题 112
第12章 压电效应 114
练习题 127
第13章 热执行器 131
练习题 140
第14章 微光学技术 144
练习题 151
第15章 扩散 152
练习题 157
第16章 微阀 159
练习题 171
第17章 微泵 175
练习题 185
第18章 微量给料 190
第19章 物理域的类比性 191
练习题 195
第20章 机械电子器件 197
练习题 203
第21章 压力传感器 206
练习题 211
第22章 流量传感器 213
练习题 220
第23章 惯性传感器 222
练习题 226
参考文献 227