TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器

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第1章气体传感器研究概述 1

1.1 半导体气体传感器简介 2

1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料 4

1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展 20

1.4 研究的目的及意义 29

第2章薄膜特性分析与Si/TiO2异质结构的能带 34

2.1 TiO2的晶格结构 34

2.2 氧传感器的薄膜敏感原理 38

2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似） 39

2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构 43

2.5 Si/TiO2异质结构的能带图 51

第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制 62

3.1 氧传感器的基本结构 62

3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺 64

3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制 68

3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制 71

第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备 76

4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析 77

4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析 86

4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析 91

4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与SEM分析 101

第5章氧传感器性能的测定与分析 104

5.1 工作温度对基准电流的影响 105

5.2 环境湿度对基准电流的影响 106

5.3 输出曲线的测量 108

5.4 选择性 109

5.5 响应－恢复时间 111

参考文献 117

后记 137