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- 作 者:美国国家半导体咨询委员会编
- 出 版 社:机电部电子科技情报研究所
- 出版年份:1992
- ISBN:
- 标注页数:42 页
- PDF页数:46 页
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序言 1
总结报告 3
一、引言 6
二、技术开发计划 9
(一)光刻 9
(二)工艺 14
(三)模拟 22
(四)器件与电路 27
(五)结构 30
(六)经济效益 36
三、结论 41