- 作 者：华中主编
- 出 版 社：上海：上海科学技术出版社
- 出版年份：1986
- ISBN：13119·1350
- 标注页数：351 页
- PDF页数：361 页
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第一章 真空的基本概念 1
1 压强单位与真空区域的划分 1
2 稀薄气体的基本性质 4
3 输运现象 10
4 蒸气 17
5 真空的应用 20
第二章 真空的获得 29
1 真空系统的构成 29
2 抽气速率和气体流量 31
3 气导 35
4 机械泵 42
5 汽流泵 63
6 离子蒸发泵 77
7 吸附泵和低温泵 88
8 放气和渗气 93
第三章 真空的测量 114
1 绝对真空规 115
2 相对真空规 121
3 真空规的校准 152
第四章 质谱分析与检漏 171
1 离子源和接收器 173
2 180°质谱计 175
3 四极场质谱计 177
4 飞行时间质谱计 182
5 一般检漏技术 183
6 补漏 202
第五章 真空材料与工艺 215
1 真空材料的选择 215
2 真空封接 224
3 清洁处理 230
4 除气 233
第六章 真空系统的设计和使用 246
1 真空系统 246
2 封闭式电真空器件的排气 256
3 真空镀膜 259
1 真空与表面科学 293
第七章 真空表面分析 293
2 电子与表面的相互作用 294
3 表面成份分析 299
4 表面结构分析 307
附录 328
一、几种气体的性质 328
二、常用元素的蒸气压 331
三、各种形状管道的气导值 334
四、部分国产双级旋片式转动泵的主要技术性能 337
五、部分国产油扩散泵的主要技术性能 338
六、安全操作注意事项 339
七、真空材料的清洁处理方法 341
实验索引 351