- 作 者：曲喜新编著
- 出 版 社：上海：上海科学技术出版社
- 出版年份：1986
- ISBN：15119·2511
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第一章 薄膜的形成 1
1-1 单体的吸附 1
1-2 小原子团的形成 6
1-3 成核理论 8
1-4 凝结系数 15
1-5 薄膜的形成 18
1-6 薄膜的结构 20
1-7 薄膜中的缺陷 22
第二章 薄膜的力学性质 25
2-1 薄膜的附着性能 25
2-2 附着力的测试方法 30
2-3 薄膜的内应力 34
2-4 内应力的测试方法 46
2-5 薄膜的机械强度 51
2-6 机械强度的试验方法 53
第三章 金属薄膜的电导 56
3-1 岛状薄膜的电导 56
3-2 外因对岛状薄膜电导的影响 69
3-3 网状薄膜的电导 74
3-4 连续薄膜的电导 77
3-5 外因对连续薄膜电导的影响 87
第四章 薄膜的表面和界面 92
4-1 表面双电层和表面势 92
4-2 表面电场效应 97
4-3 电接触 103
第五章 介质薄膜的电学性能 123
5-1 介质薄膜的电导 124
5-2 负阻现象和记忆效应 138
5-3 介质薄膜的介电常数 143
5-4 介质薄膜的损耗 148
5-5 介质薄膜的击穿 157
5-6 氧化物介电性能与固态特性的关系 159
第六章 压电薄膜的电学性能 161
6-1 晶体的性质 163
6-2 压电薄膜 176
6-3 氧化锌微晶薄膜 185
6-4 氮化铝微晶薄膜 191
参考文献 195