当前位置： 等离子体诊断 第1卷 放电参量和化学 > 购买云解压PDF图书
- 作 者：（美）奥切洛（Auciello，Orlando），（美）弗拉姆（Flamm，Daniel L.）编著；郑少白等译
- 出 版 社：北京：电子工业出版社
- 出版年份：1994
- ISBN：7505321749
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第一章 低气压等离子体和等离子体工艺的 1
第二章 放电光源中的等离子体诊断 51
第三章 朗缪尔探针的工作原理 118
第四章 等离子体质谱学 195
第五章 微波诊断 252
第六章 等离子体放电的顺磁共振诊断 328
第七章 热等离子体工艺中的诊断 365