
- 作 者:七○三厂编
- 出 版 社:天津市科技局革委会情报组
- 出版年份:1971
- ISBN:
- 标注页数:74 页
- PDF页数:78 页
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目录 1
第一章 基本理论 1
§1.点缺陷 1
§2.位错——线缺陷 2
1.两种简单的位错型 2
2.位错产生的简单机构 4
(1)位错的遗传 4
(2)位错的增殖 4
§3.点缺陷与位错的交互作用 6
§4.半导体硅上的位错 7
1.金刚石结构中的简单位错 7
2.金刚石结构中的混合位错 8
§5.单晶生长过程中位错的产生 10
1.从籽晶引入的位错 10
2.在晶体生长过程中引起的位错 10
§6.达希(W.C.Dash)理论的局限性及我们的看法 13
§7.位错对半导体电学性质的影响 15
§8.位错对原子过程的作用 17
§1.位错排与星形结构 18
第二章 半导体硅单晶中各种具体的缺陷之腐蚀图象分析 18
§2.小角晶界及系属结构 20
§3.边界线 21
§4.反向生长;枝蔓结构与网状结构 22
§5.亚结构与蛛网状结构 23
§6.辉纹与管道 24
第三章 硅单晶的腐蚀图象显示法 29
§1.硅单晶(111)面位错的显示法 29
§2.硅单晶(100)面位错显示法 31
§3.硅单晶生长前沿显示法 31
1.空间坐标中的各种晶面与晶向 34
附录: 34
2.常用物理数值表 35
3.硅在常温下主要的固有物性 36
4.硅中各种杂质的能级 37
5.有关杂质在硅中的分凝系数 38
6.有关杂质在硅中的挥发 38
7.有关杂质在硅中的扩散 39
8.硅中杂质的固相溶解度 40
9.硅单晶的定向籽晶的制备 42
10.硅中载流子浓度与电阻率的关系 43