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- 作 者：张涛著
- 出 版 社：西安：西北工业大学出版社
- 出版年份：2012
- ISBN：9787561234808
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引言 1
上篇压电薄膜制备技术 7
第一章 压电薄膜基础理论 7
1.1薄膜生长与薄膜结构 7
1.2压电原理与铁电效应 10
参考文献 17
第二章 压电薄膜制备技术与进展 21
2.1压电薄膜的制备方法 21
2.2压电薄膜研究进展 32
2.3压电薄膜性能表征 68
参考文献 73
第三章 三元系PMnN - PZT铁电薄膜的研究 78
3.1铁电材料发展简介 78
3.2三元系PMnN-PZT铁电材料特性 82
3.3三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征 84
参考文献 118
下篇薄膜压电器件制备技术 127
第四章 声学器件原理与应用 127
4.1压电器件的分类 127
4.2声学器件原理与应用 158
参考文献 162
第五章 薄膜体声波谐振器理论研究 165
5.1薄膜体声波谐振器的研究进展与热点 165
5.2传输矩阵法理论 170
5.3薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟 172
参考文献 187
后记 190