- 作 者：张国雄等著
- 出 版 社：北京：机械工业出版社
- 出版年份：2015
- ISBN：7111516897
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第1篇 制造精度基础 3
阿贝原则与阿贝误差研究 3
机床精度设计原则 14
纳米制造中计量学问题 30
第2篇 坐标测量系统 59
坐标测量机的误差补偿 59
根据位移标定机器几何参数的方法 70
利用一维球列标定机器几何参数的方法 82
机器几何误差的测量与补偿 93
数控机床热误差预补偿的研究 118
利用网格板标定光学坐标测量机的方法 124
走向智能坐标测量机 133
基于激光的多边测量系统优化设计研究 146
光笔式便携三维视觉坐标测量系统 155
圆柱坐标测量机的研发 162
圆柱坐标测量机的误差补偿 175
机器标定技术的研究 185
第3篇 精密测量 197
小盲孔三维测头 197
主轴运动误差的多点测量法 204
利用光学非接触测头测量强反射曲面的系统 212
光电式多波长液滴传感器 220
基于测量时间差的共焦式测头 229
基于光纤电容液滴分析的液体鉴别分析仪 238
液滴谱分析与三维液滴指纹图 253
测量振动梳运动的激光多普勒干涉系统 265
大尺寸空间的角度测量 274
第4篇 纳米制造 285
柔软半导体纳米镜面的钻石切削 285
单晶硅切削中刀刃半径效应的实验研究 295
光学玻璃加工的实验研究 303
在原子力显微术中用纳米碳管测头测量高深宽比纳米特征 313
原子力显微术中的纳米碳管测头的结构与制造 323
通过离子注射实现单晶硅表面改性的纳米切削 332
光学自由曲面的制造与测量 342