用硅烷法制取半导体硅

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目录 1

一、概述 1

（一）半导体硅的性能及用途 1

（二）半导体硅的制备方法及比较 3

二、硅烷的制备 6

（一）硅烷的性质和用途 6

（二）硅烷的制备方法 12

（三）用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺 27

（一）硅烷的提纯方法 46

三、硅烷的提纯 46

（二）采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺 60

四、硅烷的热分解 71

（一）硅烷热分解的反应及条件 71

（二）用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺 77

（三）直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺 85

五、硅烷法生产中的安全防护 92

（一）中毒和烧伤 93

（二）防爆 98

（三）防火、防触电 102

（四）受压容器的安全技术 104