- 作 者：刘秀琼，唐正林主编
- 出 版 社：北京：化学工业出版社
- 出版年份：2013
- ISBN：9787122156228
- 标注页数：252 页
- PDF页数：260 页
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绪论 1
0.1 改良西门子法生产多晶硅 1
0.2 其他多晶硅生产方法 4
项目一 气体的制备与净化 6
任务一 气体的制备 6
任务二 气体净化 18
小结 27
习题和思考题 27
项目二 三氯氢硅的合成 28
任务一 液氯汽化 28
任务二 氯化氢的合成 36
任务三 三氯氢硅的合成 43
小结 61
习题和思考题 62
项目三 三氯氢硅精馏提纯 64
任务一 精馏提纯原理及相关计算 64
任务二 精馏提纯设备 89
任务三 精馏提纯工艺 96
任务四 精馏提纯操作 98
任务五 设备、管道的检修 113
任务六 故障处理 115
任务七 三氯氢硅中杂质含量的分析 120
小结 121
习题和思考题 122
项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅 123
任务一 三氯氢硅氢还原工作原理 123
任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作 128
任务三 设备、管道保养与维护 143
任务四 还原工序常见故障判断与处理 148
任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制 151
任务六 还原生产中热能的综合利用 155
任务七 高纯材料及半导体相关知识 156
小结 160
习题和思考题 160
项目五 尾气干法回收 162
任务一 还原尾气干法回收的基本原理 163
任务二 还原尾气干法回收工艺流程 167
任务三 尾气干法回收主要设备 168
任务四 设备准备及安全检查 176
任务五 尾气干法回收原辅材料准备 179
任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作 180
任务七 尾气回收故障处理 184
任务八 设备、管道保养与维护 185
小结 192
习题和思考题 192
项目六 四氯化硅的综合利用与处理 193
任务一 四氯化硅的性质 193
任务二 四氯化硅氢化回收 195
任务三 四氯化硅处理的其他技术 198
小结 201
习题和思考题 201
项目七 硅芯的制备与腐蚀 202
任务一 硅芯的制备 203
任务二 硅芯腐蚀 208
小结 209
习题和思考题 210
项目八 纯水的制备 211
任务一 纯水制备原理 211
任务二 纯水制备工艺流程 214
任务三 纯水制备系统主要设备及工作原理 215
任务四 纯水制备系统操作 222
任务五 纯水的测量 228
任务六 其他纯水制备法及流程 230
小结 233
注释 233
习题和思考题 234
项目九 硅烷法制备高纯硅 235
任务一 硅烷的性质 235
任务二 原料的制取及处理 236
任务三 硅烷的发生 241
任务四 硅烷的提纯 246
任务五 硅烷热分解制备多晶硅 248
小结 251
习题和思考题 251
参考文献 252