- 作 者：（日）菅井秀郎编著；张海波，张丹译
- 出 版 社：北京：科学出版社；OHM社
- 出版年份：2002
- ISBN：7030099869
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1 等离子体电子学的学习方法 2
1.1 等离子体概述 2
目录 2
篇外话 4
“等离子体”名称的由来 4
1.2 等离子体的各种性质 4
1.3 等离子体的应用 6
1.4 本书的构成 9
练习题 10
2 等离子体中的微观运动 12
2.1 单个粒子的运动 12
2.2 粒子间的碰撞 19
2.3 弹性碰撞中的能量损失 24
2.4 原子的激发与电离 25
原子的内部状态和光谱标记 27
2.5 分子的激发与离解、电离 31
练习题 37
3 等离子体的宏观性质 40
3.1 分布函数与平均量 40
3.2 等离子体基本方程 43
3.3 等离子体的电中性 45
3.4 粒子流动与密度分布 49
3.5 等离子体鞘层 56
朗缪尔探针 59
3.6 能量平衡与粒子数平衡 61
练习题 65
4 气体放电与等离子体的形成 68
4.1 气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论 68
4.2 放电起始电压——帕邢定律 73
4.3 气体放电中的等离子体状态 75
4.4 汤生理论的局限性 76
流注的形成 79
练习题 82
5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电 84
5.1 各种放电方法与放电模式 84
表面磁场对等离子体的约束作用 87
5.2 辉光放电与低温等离子体 88
5.3 电弧放电与热等离子体 94
5.4 电晕放电与高气压低温等离子体 100
5.5 磁控管放电 102
练习题 103
——高频放电、微波放电 106
6.1 等离子体生成与天线耦合 106
6 等离子体的生成方法Ⅱ 106
6.2 平行板加RF电压——电容耦合等离子体 108
6.3 线圈通RF电流——感应耦合等离子体 119
6.4 等离子体中的波 122
6.5 强电波照射——表面波等离子体 126
6.6 使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体 128
练习题 131
朗道衰减与回旋衰减 131
7 等离子体在电子、环境工程中的应用 134
7.1 LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法 134
7.2 非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法 140
7.3 等离子体显示器件的工作原理 143
7.4 利用等离子体的环境改善技术 145
练习题 149
用强光生成等离子体 149
练习题解答 151
参考文献 155
附录 157