计量与测试

作者：中国计量科学研究院编辑
出版社：中国计量科学研究院
出版年份：1977
ISBN：
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目录 1

前言 1

引言 1

第一章材料生长和杂质控制 1

第一节体生长 1

第二节外延生长 13

一、衬底制备 13

二、气相外延 14

三、液相外延 37

五、外延系统的目前趋向 63

四、液相外延系统的比较 63

第三节扩散 83

一、简单理论 83

二、实验数据 84

第四节离子注入 100

第五节表面钝化 101

第六节总结 102

第二章材料的特性和鉴定 103

第一节化学分析 103

一、体材料 103

二、薄膜 105

第二节物理分析 158

第三节电学分析 164

一、常规分析 165

二、专门技术 212

第四节总结 257

第三章器件工艺 258

第一节片子的处理 258

第二节金属半导体接触 262

一、接触理论 263

二、冶金学 318

三、工艺 330

四、整流接触 334

五、欧姆接触 335

六、接触特性 338

七、总结 353

第四章散热器 354

第一节理论 354

第二节工艺 388

第三节金刚石散热器 396

第四节热阻的测量方法 396

第五章封装 398

第六章失效分析和可靠性 403

附录 404

参考文献 406