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- 作 者:权田俊一著;方永勋译
- 出 版 社:北京:国防工业出版社
- 出版年份:1981
- ISBN:15034·2188
- 标注页数:104 页
- PDF页数:108 页
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目录 1
第一章 分子束外延概述 1
1.1什么是外延 1
1.2分子束外延 4
第二章 超高真空与分子束 9
2.1超高真空的必要性 9
2.2分子束的产生 12
2.3分子束的检测 22
第三章 分子束与固体表面的相互作用及晶体生长过程 27
3.1吸附和脱附 27
3.2固体表面的运动学 37
3.3采用分子束外延生长晶体的例子 43
第四章 生长层的评价 50
4.1用电子束进行评价 50
4.2电气评价 69
4.3光学评价 72
第五章 分子束外延的应用 79
5.1电子器件 79
5.2光电器件 85
5.3多层周期结构及其应用 89
结束语 96
参考资料 99