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微细加工论文集
  • 作 者:航天部二院二0八所编
  • 出 版 社:
  • 出版年份:1987
  • ISBN:
  • 标注页数:70 页
  • PDF页数:73 页
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系统工程、特种器件与微细加工&郝玉泉 1

现代电子束曝光机&陶友松 24

离子束技术应用的新发展&刘金声 35

亚微米复印技术&陶友松 47

国外微细加工技术的发展与应用&汪福敏 陆永刚 61

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