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- 作 者：吴宗汉，李铠，林朝阳主编
- 出 版 社：南京：东南大学出版社
- 出版年份：2012
- ISBN：9787564138448
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1 实用ECM设计的讨论 1
1.1 力—声—电模拟等效及参数计算 1
1.2 振膜的设计 9
1.3 背极的设计 20
1.4 PCB板的设计 21
1.5 J-FET的设计 21
1.6 外壳与涂层的设计 23
1.7 垫圈的设计 28
1.8 连接线的设计 28
1.9 ECM的优化设计实验 32
1.10 改进结构设计的原则和实例 35
2 实用ECM生产技术的讨论 44
2.1 ECM的工作原理及结构 44
2.2 ECM各部件的制造 47
2.3 ECM零件常见缺陷的分析 81
2.4 生产对设备和作业者的要求 85
2.5 MEMS传声器的工作原理及结构、封装 101
3 实用ECM测量的讨论 107
3.1 传声器性能的重要特性参量 107
3.2 测量传声器的校准 107
3.3 ECM特性的测量 111
4 相关配合的讨论及标准 130
4.1 相关配合的讨论 130
4.2 相关的标准 141
参考文献 156