实用微型ECM研制技术

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1 实用ECM设计的讨论 1

1.1 力—声—电模拟等效及参数计算 1

1.2 振膜的设计 9

1.3 背极的设计 20

1.4 PCB板的设计 21

1.5 J-FET的设计 21

1.6 外壳与涂层的设计 23

1.7 垫圈的设计 28

1.8 连接线的设计 28

1.9 ECM的优化设计实验 32

1.10 改进结构设计的原则和实例 35

2 实用ECM生产技术的讨论 44

2.1 ECM的工作原理及结构 44

2.2 ECM各部件的制造 47

2.3 ECM零件常见缺陷的分析 81

2.4 生产对设备和作业者的要求 85

2.5 MEMS传声器的工作原理及结构、封装 101

3 实用ECM测量的讨论 107

3.1 传声器性能的重要特性参量 107

3.2 测量传声器的校准 107

3.3 ECM特性的测量 111

4 相关配合的讨论及标准 130

4.1 相关配合的讨论 130

4.2 相关的标准 141

参考文献 156