中国核科技报告 CJ-500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制

作者：曾洪银着
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出版年份：1999
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CJ—500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制&曾洪银（核工业西南物理研究院，乐山，614007） 1

摘要 1

引言 3

1镀膜机结构及特点 3

2主要技术参数 6

3运行结果与讨论 7

参考文献 8