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碳基薄膜制备及场致电子发射
  • 作 者:张兵临编著
  • 出 版 社:郑州:郑州大学出版社
  • 出版年份:2009
  • ISBN:9787564501273
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1 碳基材料薄膜制备方法 1

1.1 概论 1

1.2 热丝法化学气相沉积 4

1.3 微波等离子体化学气相沉积 9

1.4 脉冲激光沉积 12

1.5 阴极磁过滤弧 18

1.6 磁控溅射 21

参考文献 24

2 场致电子发射理论简介 31

2.1 场致电子发射研究概况 31

2.2 场致电子发射理论基础 34

2.3 场致电子发射理论简介 37

2.4 半导体场致电子发射 51

2.5 场致电子发射特性测试方法 56

参考文献 57

3 金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 61

3.1 金刚石的晶体结构 61

3.2 金刚石的物理化学特性 63

3.3 金刚石薄膜制备与生长机理 68

3.4 金刚石薄膜微观结构及场致电子发射特性 83

3.5 类球状微米金刚石聚晶膜的制备及场致电子发射特性 91

参考文献 102

4 纳米石墨薄膜制备及场致电子发射特性 109

4.1 石墨晶体结构 109

4.2 石墨的物理化学特征 113

4.3 纳米石墨薄膜制备与场致电子发射特性 120

参考文献 137

5 碳纳米管薄膜制备及场致电子发射特性 141

5.1 碳纳米管的结构 141

5.2 碳纳米管的物理化学特性及其应用 144

5.3 取向生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 150

5.4 无序生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 161

5.5 碳纳米管薄膜场发射发光管的制备 172

参考文献 178

6 非晶碳薄膜制备及场致电子发射特性 183

6.1 非晶碳膜的结构 183

6.2 非晶碳膜的表征 188

6.3 非晶碳膜物理化学特性 192

6.4 纳米非晶碳膜的制备及场致电子发射特性 196

参考文献 212

7 白碳和碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 219

7.1 白碳材料的结构及结构表征方法 219

7.2 白碳薄膜制备及其结构分析 222

7.3 白碳纳米晶薄膜的场致电子发射特性 226

7.4 碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 227

7.5 碳氮纳米管薄膜制备及结构分析 231

7.6 碳氮纳米管薄膜的场致电子发射特性 233

7.7 碳氮硼薄膜的制备及场致电子发射特性 234

参考文献 239

8 氮掺杂类金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 243

8.1 类金刚石薄膜的制备方法 243

8.2 氮掺杂类金刚石薄膜的制备及场致电子发射特性 245

8.3 类金刚石薄膜的氮离子注入掺杂及场发射特性 249

8.4 碳氧氮复合薄膜制备及场致电子发射特性 251

参考文献 257

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