- 作 者：上海市仪表电讯工业局科学技术情报研究所编
- 出 版 社：上海市仪表电讯工业局科学技术情报研究所
- 出版年份：1981
- ISBN：
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目录 2
一、自动化概述 2
二、整机制造 2
装配线及装配技术 2
引线加工机（矫直、切割折弯、成形） 12
送料装置 18
元件插装机 21
焊接设备 30
绕接工具 36
各种电子元件测试 36
各种电子电路测试 42
解焊及折件工具 49
录音机制造设备 51
电阻器、电位器、电子器件生产设备 54
三、电子元件制造 54
电容器生产设备 59
中周变压器生产设备 64
绕线机 67
电子管生产设备 79
显象管生产设备 80
继电器、开关生产设备 87
磁性材料生产 88
生产辅助设备 89
四、印制电路板制造 90
各种生产设备 90
测试设备 96
五、半导体器件制造 100
拉单晶 100
晶片切割、划片 100
研磨抛光 102
清洗、干燥 103
表面处理、氧化热处理 105
腐蚀 106
硅片加工设备 110
外延生长设备 111
扩散、离子注入装置 114
掩模制造和对准设备 116
光刻设备 120
蒸发、溅射、淀积设备 127
焊接 130
装配设备 133
键合机 137
封装 140
测试分选设备 143
集成电路性能测试 147
膜厚测试 151
掩模检查 152
硅片芯片测试 153
辅助工具 157
六、计算机应用 161
计算机辅助设计印制电路 161
计算机辅助设计集成电路 167
七、微处理机应用 173
八、其他工艺设备 177
机械手 177
金属与塑料加工设备 178
数控机床 179
电镀 181
三废处理 183
各种机械加工设备 185
其他 191