- 作 者：曹向群等著
- 出 版 社：上海：上海科学技术出版社
- 出版年份：1995
- ISBN：7532335976
- 标注页数：505 页
- PDF页数：513 页
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第一章 机械刻划工艺 1
第一节 机械刻划工艺的发展概况 1
第二节 工艺流程 9
第三节 刻划刀具 21
第四节 特种刻划零件实例 26
第二章 刻划设备 42
第一节 长刻线机主要部件 42
第二节 长刻线机精度问题 49
第三节 激光定位长刻线机 57
第四节 圆刻线机组成 61
第五节 提高精度的途径 72
第三章 光学照相工艺总论 92
第一节 照相工艺的发展 92
第二节 光学照相工艺的特点 94
第三节 常用术语 100
第四节 光学照相车间的设计和要求 108
第四章 照相底板的制作 113
第一节 照相底板的制作方法 113
第二节 制版照相机的结构及其调校 116
第三节 照相底图的制作 127
第四节 照相制版镜头 134
第五节 制版的感光材料 153
第一节 基本工艺 194
第五章 照相复制 194
第二节 照相复制感光胶 210
第三节 照相复制的工艺类别 240
第四节 直接光刻法 263
第六章 微细光刻技术 283
第一节 光刻原理 283
第二节 光致抗蚀剂 287
第三节 光刻技术 295
第四节 光刻设备 304
第五节 光学检测设备 321
第一节 微型机械 326
第七章 立体光刻 326
第二节 微光学 332
第三节 LIGA(X 射线深层光刻)技术 339
第四节 立体光刻成型技术 347
第八章 长度检定 371
第一节 长度检定的发展概况 371
第二节 长度检定 377
第三节 常用计量仪器 398
第九章 角度检定 434
第一节 角度检定的发展概况 434
第二节 测量术语 437
第三节 常角法检验 449
第四节 比较法 468