半导体材料

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第一章半导体材料综述 1

一、半导体材料在科学技术现代化中的地位 1

目录 1

二、半导体材料的种类和特点 2

三、半导体材料的主要用途 3

四、半导体材料的性能及其与器件的关系 7

五、半导体器件对材料的要求及材料的选用原则 10

六、化合物半导体砷化镓的特性 11

七、半导体材料的发展概况 12

八、半导体材料的生产现状、水平和发展趋向 14

一、超纯多晶硅的制备 22

第二章半导体材料硅的生产 22

二、直拉法制备单晶硅 46

三、区熔法制备单晶硅 65

四、硅片的加工 77

五、硅外延生长 86

六、硅材料的检验和分析 95

第三章化合物半导体材料砷化镓的制备 110

一、砷化镓材料的制备方法、特点和要求 110

二、砷化镓体单晶的制备 111

三、砷化镓外延生长 125