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- 作 者：刘凤伟编
- 出 版 社：北京：冶金工业出版社
- 出版年份：1981
- ISBN：15062·3697
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第一章 半导体材料综述 1
一、半导体材料在科学技术现代化中的地位 1
目录 1
二、半导体材料的种类和特点 2
三、半导体材料的主要用途 3
四、半导体材料的性能及其与器件的关系 7
五、半导体器件对材料的要求及材料的选用原则 10
六、化合物半导体砷化镓的特性 11
七、半导体材料的发展概况 12
八、半导体材料的生产现状、水平和发展趋向 14
一、超纯多晶硅的制备 22
第二章 半导体材料硅的生产 22
二、直拉法制备单晶硅 46
三、区熔法制备单晶硅 65
四、硅片的加工 77
五、硅外延生长 86
六、硅材料的检验和分析 95
第三章 化合物半导体材料砷化镓的制备 110
一、砷化镓材料的制备方法、特点和要求 110
二、砷化镓体单晶的制备 111
三、砷化镓外延生长 125