- 作 者：国家自然科学基金委员会编
- 出 版 社：北京：科学出版社
- 出版年份：1995
- ISBN：7030047214
- 标注页数：146 页
- PDF页数：167 页
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1 半导体物理 13
1.1 国外发展现状与趋势 13
1.2 国内现状 19
1.3 发展战略和优先支持的课题 20
2 半导体材料 23
2.1 体材料 23
2.2 薄层、超薄层材料 34
3 硅集成电路 51
3.1 国外发展情况 52
3.2 国内发展情况 58
3.3 发展趋势与目标 60
3.4 发展建议 64
4 化合物半导体微电子器件及集成电路 69
4.1 国外发展现状与趋势 69
4.2 国内发展现状与趋势 82
4.3 战略重点与优先资助的课题 84
4.4 政策与建议 85
5.1 国外发展现状与趋势 86
5 半导体光电子器件 86
5.2 国内发展现状 93
5.3 发展战略和应优先资助的课题 94
5.4 发展政策和战略措施 95
6 新型电力电子器件与灵巧功率集成电路 98
6.1 国内外发展现状与趋势 101
6.2 战略目标及优先资助的前沿课题 106
6.3 战略措施 108
7.1 半导体传感器 110
7 半导体传感器和微电子机械系统 110
7.2 微电子机械系统和微型传感器 118
7.3 发展趋势 120
7.4 战略目标及优先资助的前沿课题 121
8 非晶态半导体与器件 124
8.1 国内外研究现状与发展趋势 124
8.2 主要研究课题的方向与目标 129
9 战略目标与措施 137
9.1 战略地位 137
9.2 目标与措施 140
参考文献 144