掺氮类金刚石薄膜的性能和应用研究

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第一章前言 1

1.1 类金刚石薄膜的制备 1

1.2 类金刚石薄膜的微观结构 3

1.3 类金刚石薄膜的电学性能 4

1.4 类金刚石薄膜的光学性能 6

1.5 类金刚石薄膜的应用状况 8

1.6 论文的主要内容 13

1.7 课题意义 13

第二章掺氮类金刚石薄膜的制备及其微观结构特征 16

2.1 掺氮类金刚石薄膜的制备 16

2.2 掺氮类金刚石薄膜的微观结构特征 18

2.3 结论 35

第三章掺氮类金刚石薄膜的电学性能 36

3.1 直流电导特性 36

3.2 介电性质 47

3.3 结论 61

第四章掺氮类金刚石薄膜的光学性能 62

4.1 引言 62

4.2 实验 63

4.3 结果与讨论 64

4.4 结论 85

第五章类金刚石薄膜在微条气体室探测器中的应用探索 86

5.1 引言 86

5.2 实验 91

5.3 结果和讨论 92

5.4 结论 98

第六章结论 99

参考文献 102

致谢 111