可靠性物理讲

作者：华东师范大学物理系半导体教研室编
出版社：上海电子设备工业公司中心试验站
出版年份：1980
ISBN：
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第一章绪论 1

半导体器件可靠性研究工作发展概况 1

整机可靠性研究一例 8

第二章晶体管基础知识 14

晶体三极管 14

MOS场效应晶体管 35

第三章提高半导体器件可靠性的几种措施 44

MOS结构C—V法在工艺控制中的应用 44

利用栅控管及四极管研究表面对双极型晶体管性能的影响 66

其它常用测试结构 81

表面纯化 125

介质膜层部段陷的鉴定 149