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- 作 者：朱荻，云乃彰，汪炜等编
- 出 版 社：哈尔滨：哈尔滨工程大学出版社
- 出版年份：2008
- ISBN：9787811332384
- 标注页数：227 页
- PDF页数：236 页
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1绪论 1
微机电系统与微型化 1
微型化的基础——微细制造 4
2微机电系统组成原理及设计 8
微机电系统的组成和工作原理 8
微尺度理论基础 37
计算机辅助设计 57
习题 74
3微细加工技术 75
硅微细加工 75
LIGA技术 83
微细电火花加工 92
微细电铸 99
微细电解加工 107
微细高能束流加工 115
习题 124
4微机电系统的检测 125
MEMS器件的几何量测量 125
力学性能测试 140
习题 153
5微机电系统的应用 154
微机电系统的军事应用 154
微机电系统在民用工业中的应用 191
习题 223
参考文献 225