硅材料物理测试

作者：
出版社：北京：机械工业出版社
出版年份：1971
ISBN：15033·（内）415
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硅材料物理测试天津半导体材料厂 1

一、测试前硅单晶的预处理 1

二、切割与粗磨 1

三、导电类型的测定 2

四、电阻率的测量 3

五、双脉冲法测硅单晶寿命 8

六、抛光与腐蚀 11

七、位错密度的测量 12