中国科学院电工研究所论文报告集 10

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DY—3电子束曝光机电子光学设计和初步调试 1

电子束投影曝光系统中聚焦磁场不均匀性引起畸变的理论分析 13

半导体背散射电子检测器实验研究 27

内径60cm充蜡分层超导螺管的实验研究 36

超导磁体交流损耗的测量 42

铁屏超导螺管的实验研究 48

SD0.2/50型低真空电子束焊机真空室的研制 59

焊接用电子枪在不同参数要求下的适应性问题研究 66

晶片离子注入后的扫描散焦电子束退火研究 73

二氧化硅的离子束曝光特性 81

速率乘法的舍入处理及其多次运算的积累误差计算 86

PDH绘图仪的控制器 100

超导材料临界电流微处理机测量系统 114

逆变器馈电实心转子永磁同步电动机的研究 121

通用型步进电机斩波驱动电路 133

燃油磁流体发电燃烧室二氧化锆内衬材料的试验研究及结果 144

5KW太阳能热力水泵试验系统初步计算分析 151