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“水-氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅

作者：
出版社：北京：机械工业出版社
出版年份：1971
ISBN：15033·（内）414
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“水—氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅湘潭纺织印染厂 1

一、硅烷法生产工艺简介 3

二、“水—氨”喷射器制冷 3

三、存在问题与几点看法 9