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- 作 者:北京市西城区半导体设备一厂
- 出 版 社:北京市西城区半导体设备一厂
- 出版年份:2222
- ISBN:
- 标注页数:30 页
- PDF页数:35 页
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目录 1
一、用途 1
二、技术指标 1
(一)总机技术指标 1
(二)分机技术指标 1
三、结构 3
(一)控制机体部分 3
(二)炉体部分 3
四、安装 3
(一)电源安装 3
(二)热偶安装 3
(三)炉丝接线 7
(四)炉体安装 7
(一)毫伏给定器 8
六、PID控制器原理和调试 8
五、总机工作原理概述 8
(二)PID调节器 13
(三)调整方法 14
七、可控硅功率放大器 15
八、使用方法 19
(一)升温前准备工作 19
(二)P.I.D参数调整步骤 21
九、等温区的调整 21
十、精度的测量 22
十一、一般故障原因及排除方法 22
附录Ⅰ、自制变压器参数表 25
Ⅱ、温度—毫伏对照表 26
Ⅲ、PID调节器控制系统元件明细表 28
Ⅳ、功率放大器控制系统元件明细表 30