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- 作 者：航空航天部七七一研究所
- 出 版 社：
- 出版年份：1988
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集成传感器文集 1
第二分册 1
译文专辑 1
1、集成压力传感器 1
2、MOS集成压力传感器 6
3、CMOS集成硅压力传感器 14
4、多晶硅压力传感器 23
5、多晶硅的压阻特性 28
6、集成多用传感器芯片 34
7、高温超小型固态压力传感器的进展 40
8、硅压阻传感器的温度灵敏度 54
9、可在300℃下使用的微型压力传感器 75
10、横向标准压力传感器采用各向异性刻蚀法的主要优点 82
11、采用阳极氧化自停腐蚀法制作压敏传感器的硅膜片 89
12、集成灵敏传感器的固态封接和组装技术 94