- 作 者：王月花，黄飞编著
- 出 版 社：徐州：中国矿业大学出版社
- 出版年份：2016
- ISBN：7564629878
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1 绪论 1
1.1 薄膜光学概述 1
1.2 电磁理论基础 7
思考题与习题 16
2 光学薄膜特性的理论计算 17
2.1 光学薄膜特性计算方法 17
2.2 光学薄膜的普遍定理 23
2.3 单一界面上的反射率和透射率 31
2.4 单层介质膜的反射率 33
2.5 多层介质膜的反射率 38
思考题与习题 40
3 光学薄膜系统的设计 42
3.1 减反射膜 42
3.2 高反射膜 47
3.3 分束镜 57
3.4 截止滤光片 62
思考题与习题 68
4 薄膜制备技术 69
4.1 真空技术基础 69
4.2 薄膜制备方法 82
4.3 薄膜厚度的均匀性 113
4.4 膜层厚度的监控 117
思考题与习题 120
5 薄膜的形成与结构 122
5.1 凝结过程 122
5.2 核的形成与生长过程 125
5.3 薄膜的形成与生长 131
5.4 薄膜的结构与缺陷 134
思考题与习题 138
6 薄膜的表面与界面 139
6.1 表面界面特征与现象 139
6.2 吸附机理与吸附膜的形成机理 145
6.3 表面扩散与界面扩散 152
6.4 界面电气现象 155
6.5 界面接触效应 158
6.6 薄膜中的电迁移现象 163
思考题与习题 165
7 薄膜特性的测试 166
7.1 薄膜光学常数的测量 166
7.2 薄膜光学性能的测量 176
7.3 薄膜成分的表征方法 185
7.4 薄膜结构的表征方法 190
7.5 薄膜附着力的测量方法 195
思考题与习题 197
8 几种重要的功能薄膜材料 198
8.1 半导体薄膜 198
8.2 铁电薄膜 207
8.3 光学薄膜 210
思考题与习题 214
参考文献 215