精密测量中的误差补偿技术

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第一章绪论 1

1-1 误差补偿技术研究的内容 1

1-2 有关误差补偿技术的概念与模型 5

1-3 补偿效果的评价指标 11

第二章基于信息源变换的误差分离技术 13

2-1 两点转位分离法 13

2-2 多重多步分离法 19

2-3 空间误差运动的多截面分离法 35

2-4 倒向分离法 47

第三章基于模型参数估计的误差分离技术 52

3-1 圆轮廓测量中偏置误差的分离 52

3-2 圆柱轮廓测量中偏置误差的分离 70

3-3 球体轮廓测量中偏置误差的分离 92

3-4 回转体精密测量仪器动态校准中偏置误差的分离 96

第四章误差修正技术 108

4-1 显示轮廓畸变的修正方法 108

4-2 传感器特性误差的修正方法 115

4-3 测长机测量中状态偏移的修正方法 120

第五章误差抑制技术 124

5-1 七米激光测长机“闲区误差”的抑制 124

5-2 传感器零位频率漂移的闭环抑制法 131

5-3 定位工作台机械漂移的结构抑制法 133

参考文献 137