当前位置： 材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺 > 购买云解压PDF图书
- 作 者：（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校
- 出 版 社：北京：科学出版社
- 出版年份：1999
- ISBN：703007260X
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1 硅工艺 1
2 化合物半导体工艺 55
3 外延生长 90
4 光刻 145
5 选择性掺杂 214
6 半导体工艺中的刻蚀工艺 237
7 硅器件结构 280
8 化合物半导体器件结构 329
9 硅器件工艺 343
10 化合物半导体器件工艺 410
11 集成电路封装 504
12 互连系统 541
索引 570