- 作 者：杨自本等编著
- 出 版 社：北京：中国计量出版社
- 出版年份：1997
- ISBN：7502607285
- 标注页数：428 页
- PDF页数：439 页
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第一章 小尺寸测量与公差概况 1
一 小尺寸概念 1
二 小尺寸零件的种类 2
三 小尺寸测量的特点 21
四 小尺寸的公差与配合 23
第二章 细丝直径测量 48
一 概述 48
二 斜照明干涉法 49
三 激光衍射法 53
四 激光散射法 73
五 放大测量法 82
六 扫描测量法 85
第三章 小孔直径测量 106
一 概述 106
二 小孔直径的接触测量 108
三 小孔直径的非接触测量 140
第四章 薄膜厚度测量 157
一 概述 157
二 形状膜厚的测量 166
三 质量膜厚的测量 181
四 物质膜厚的测量 194
第五章 镀层与涂层厚度测量 215
一 概述 215
二 镀层厚度的测量 216
三 涂层厚度的测量 252
四 涡流测量法及其在测厚中的应用 265
第六章 小宽度测量 277
一 概述 277
二 薄带宽度的测量 280
三 狭缝宽度的测量 283
四 刻线宽度的测量 300
第七章 小位移测量 328
一 概述 328
二 小位移机械法测量 329
三 小位移光学法测量 329
四 小位移电学法测量 344
五 小位移气动法测量 349
第八章 小尺寸测量技术的发展 357
一 概述 357
二 电视、电子显微镜 358
三 超声波显微术 381
四 CCD测量 385
五 全息干涉测量与全息显微术 398
第九章 小尺寸量仪的检定 405
一 概述 405
二 示值误差的检定 407
三 灵敏度与线性误差的估计 423
四 示值稳定度的检定 425