激光在计量测试技术中的应用

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前言 1

第一章激光基本原理 1

1.1激光的发展 1

目录 1

1.2激光的特点 3

1.3光和物质的相互作用 11

1.4光谱线的宽度 26

1.5光学谐振腔 37

1.6介质对光的增益作用 68

第二章激光器和稳频技术 91

2.1氦氖激光器 91

2.2半导体激光器 97

2.3稳频技术 105

3.1干涉测长的基本原理 131

第三章激光干涉计量技术 131

3.2干涉系统主要元件的选择 140

3.3激光干涉测量系统 155

3.4空气折射率的测量 190

3.5应用实例 200

第四章激光轮廓测量技术 269

4.1偏振干涉仪 269

4.2同轴式干涉轮廓仪 276

4.3纳水级检测技术 286

4.4纳米级定位技术 296

第五章激光在表面粗糙度测量中的应用 303

5.1激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用 303

5.2激光散射在表面粗糙度中的应用 316

5.3激光全息及其在测量表面粗糙度中的应用 330