半导体表面钝化专题文摘

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一、述评和文献目录 1

二、钝化 1

目录 1

三、钝化机理 5

四、制备方法 14

1．化学汽相淀积（CVD） 14

2．热氧化 24

3．溅射和蒸发 27

5．阳极氧化 29

5．磷硅玻璃 31

6．其他方法 35

1．电学性质 38

五、特性 38

2．表面态 42

3．界面性质 47

4．辐射效应 51

5．C-V和Ⅰ-V特性 52

6．其它性质 54

六、测量 55

1．电参数 55

2．结构和缺陷 57

3．厚度 58

4．沾污和杂质 58

5．应力 61

半导体表面钝化 专题文摘