当前位置： 半导体表面钝化 专题文摘 > 购买云解压PDF图书
- 作 者：中国科学技术情报研究所重庆分所编辑
- 出 版 社：北京：科学技术文献出版社；重庆分社
- 出版年份：1978
- ISBN：15176·320
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一、述评和文献目录 1
二、钝化 1
目录 1
三、钝化机理 5
四、制备方法 14
1．化学汽相淀积（CVD） 14
2．热氧化 24
3．溅射和蒸发 27
5．阳极氧化 29
5．磷硅玻璃 31
6．其他方法 35
1．电学性质 38
五、特性 38
2．表面态 42
3．界面性质 47
4．辐射效应 51
5．C-V和Ⅰ-V特性 52
6．其它性质 54
六、测量 55
1．电参数 55
2．结构和缺陷 57
3．厚度 58
4．沾污和杂质 58
5．应力 61