微小世界深亚微米结构器件和介观物理

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1．激动人心的挑战 1

1.1紫外光光刻绝处逢生 4

1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒 24

1.3倍受青睐的扫描电子束光刻 34

1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影 52

1.5人工生长超小结构的妙法 65

1.6STM对纳米科技的推动 87

2．微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员 102

2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET 104

2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS 115

2.3捷足先登的短栅HFET 127

2.4重放异彩的VMFET 142

3．介观世界探秘：介观物理和器件 164

3.1奇异的电子行为 166

3.2独特的光学性质 188

3.3理论物理学家们的目光焦点 211

3.4诱人的新型量子效应器件 216

参考文献 239

微小世界 深亚微米结构器件和介观物理