- 作 者：刘双杰，郝永平著
- 出 版 社：北京：国防工业出版社
- 出版年份：2018
- ISBN：9787118116564
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第1章 绪论 1
1.1MEMS技术的概述 2
1.1.1MEMS的概念和特点 2
1.1.2MEMS技术的发展 4
1.2MEMS技术在军事中的应用 8
第2章 MEMS开关分类 11
2.1加速度计开关 11
2.2RF MEMS开关 13
2.3机电耦合开关 16
2.4MEMS惯性开关 17
2.5引信用MEMS开关的特点 22
2.5.1目前引信用开关存在的问题 23
2.5.2引信特殊环境对MEMS惯性开关性能需求 24
第3章 开关多物理场 26
3.1结构场 26
3.1.1变截面积悬臂梁的刚度计算 26
3.1.2S形折叠悬臂梁刚度计算 29
3.1.3S形折叠悬臂梁刚度的有限元仿真 36
3.2静电场 38
3.2.1静电驱动原理 38
3.2.2静电吸合效应 39
3.2.3负弹簧效应的影响 41
3.3静电-结构耦合特性分析 42
3.3.1等效刚度法静电-结构耦合分析 42
3.3.2模态叠加法静电-结构耦合分析 43
3.3.3有限元反馈法静电-结构耦合分析 44
3.4阻尼场 49
3.4.1滑膜阻尼 50
3.4.2压膜阻尼 51
3.4.3悬臂梁的流-固耦合的压膜阻尼模型 53
第4章 影响引信MEMS惯性开关性能的主要因素 62
4.1开关的响应时间 62
4.2开关的闭合可靠性 64
4.3开关的接触电阻 67
4.3.1接触形式的影响 67
4.3.2接触材质的影响 68
4.3.3接触电阻的计算 69
第5章 典型开关的设计与分析 72
5.1阈值可调的悬臂梁开关的设计与分析 72
5.1.1模型的建立 73
5.1.2开关基本工作原理 74
5.1.3开关工作性能仿真 77
5.1.4抗过载性能仿真 91
5.1.5尺寸参数对开关性能的影响分析 91
5.1.6加工误差仿真分析 96
5.2环形无源万向惯性开关的设计与分析 98
5.2.1开关基本工作原理 99
5.2.2开关工作性能仿真 101
5.2.3抗过载性能仿真 109
5.2.4开关工艺流程 110
5.2.5开关封装工艺 114
5.3低g值惯性开关的设计与分析 115
5.3.1模型的建立 115
5.3.2开关工作性能的仿真 116
5.3.3低g值开关的模态仿真 118
第6章 典型开关测试技术 121
6.1MEMS器件测试的基本原理与方法 121
6.2开关静态实验测试 122
6.2.1尺寸检测 122
6.2.2接触电阻检测 125
6.3开关冲击实验测试 125
6.3.1开关阈值测试 125
6.3.2开关抗高过载性能测试 126
参考文献 129