激光在计量测试技术中的应用

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前言 1

第一章激光基本原理 1

1.1 激光的发展 1

1.2 激光的特点 3

1.3 光和物质的相互作用 11

1.4 光谱线的宽度 26

1.5 光学谐振腔 37

1.6 介质对光的增益作用 68

第二章激光器和稳频技术 68

2.1 氦氖激光器 91

2.2 半导体激光器 97

2.3 稳频技术 105

第三章激光干涉计量技术 105

3.1 干涉测长的基本原理 131

3.2 干涉系统主要元件的选择 140

3.3 激光干涉测量系统 155

3.4 空气折射率的测量 190

3.5 应用实例 200

第四章激光轮廓测量技术 269

4.1 偏振干涉仪 269

4.2 同轴式干涉轮廓仪 276

4.3 纳米级检测技术 286

4.4 纳米级定位技术 296

第五章激光在表面粗糙度测量中的应用 296

5.1 激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用 303

5.2 激光散射在表面粗糙度中的应用 316

5.3 激光全息及其在测量表面粗糙度中的应用 330